기기명	OLED 조명소자 패키징장비
영문명	OLED TFE (Thin Film Encapsulation) System
분류	OLED 공정장비
장비상태	정상 ○
기기모델	SUNICEL Plus200L
설치장소	OLED조명연구동 OLED공정실
제조회사	선익시스템
구입일자	2011-12-31
장비담당	전화 : 033-452-9881
장비상세정보
장비사양	1 기판 규격 : 200mm±0.2mmX200mm±0.2mm (T: 0.55~1.1 mm±0.02mm) 2 증착 균일도 : ≤±7%, 스퍼터 공정 3 TFE스퍼터 챔버 최고 도달 진공: 2.0 X 10-7 torr 일반 진공 측정: ≤ 5.0 X 10-6 torr, 30분 이내
장비활용	본 장비는 유기 조명용 소자를 제작하기 위한 소자 패키지 PVD 장비로써 OLED소자를 보호하기 위한 봉지박막을 증착 할 수 있는 장비이다. - 장비는 진공 중에서 박막 봉지 공정을 할 수 있도록 모듈로 구성 되어 있으며, 각 구성은 진공 중에서 쉐도우 마스크 와 기판이 정밀 정렬 되어 수평 이송을 할 수 있도록 설계 되어있다.

OLED 조명소자 패키징장비
영문명: OLED TFE (Thin Film Encapsulation) System
기기분류: OLED 공정장비
장비상태: 정상 ○
기기모델: SUNICEL Plus200L
설치장소: OLED조명연구동 OLED공정실
제조회사: 선익시스템
구입일자: 2011-12-31
장비담당: , 033-452-9881
장비상세정보
장비사양: 1 기판 규격 : 200mm±0.2mmX200mm±0.2mm (T: 0.55~1.1 mm±0.02mm) 2 증착 균일도 : ≤±7%, 스퍼터 공정 3 TFE스퍼터 챔버 최고 도달 진공: 2.0 X 10-7 torr 일반 진공 측정: ≤ 5.0 X 10-6 torr, 30분 이내
장비활용: 본 장비는 유기 조명용 소자를 제작하기 위한 소자 패키지 PVD 장비로써 OLED소자를 보호하기 위한 봉지박막을 증착 할 수 있는 장비이다. - 장비는 진공 중에서 박막 봉지 공정을 할 수 있도록 모듈로 구성 되어 있으며, 각 구성은 진공 중에서 쉐도우 마스크 와 기판이 정밀 정렬 되어 수평 이송을 할 수 있도록 설계 되어있다.