기기명	OLED 조명소자 공정장비
영문명	OLED Deposition System
분류	OLED 공정장비
장비상태	정상 ○
기기모델	SUNICEL Plus200L
설치장소	OLED조명연구동 OLED공정실
제조회사	선익시스템
구입일자	2011-12-31
장비담당	전화 : 033-452-9881
장비상세정보
장비사양	1 기판 규격 : 200mm±0.2mmX200mm±0.2mm (T: 0.55~1.1 mm±0.02mm) 2 Clean room 요구 사항 : class 1000 이하, 온도: 21˚C±3˚C, 상대습도: 45%±5% 3 유효 증착 면적 : 170mm x 170mm (일반 증착면적: 175mm x 175mm) 4 적용 제품 : 유기 조명 소자 5 Pass line : 1,450 mm (필수 천장높이: 3,000mm 이상) 6 Alignment 정확도 : Pin alignment: ≤±150μm 7 Tact time : 6 min for evaporation 8 증착 균일도 ≤±3% (정확도 5%, 샘플링 95%), 유기물 증착 ≤±5% (정확도 5%, 샘플링 95%), 메탈 증착 ≤±7%, 스퍼터 공정 9 증착 두께 신뢰도 ≤±5% (기판간 편차), 유기물 증착 ≤±5% (기판간 편차), 메탈 증착
장비활용	- 본 장비는 유기 조명용 소자를 제작하기 위한 박막 증착 PVD 장비로써 여러 종류의 박막을 진공 상태에서 연속적으로 증착 할 수 있도록 구성 된 장비이다. - 장비는 진공 중에서 연속적으로 유기 조명용 유기 및 메탈 박막 증착을 할 수 있도록 여러 개의 모듈로 구성 되어 있으며, 각 구성은 진공 중에서 쉐도우 마스크 와 기판이 정밀 정렬 되어 수평 이송을 하여 각 프로세스 챔버에서 단위 공정을 연속적으로 할 수 있도록 설계 되어있다. - 대면적 Red, Green, Yellow, Blue, White OLED 소자제작 시 사용가능 - 대면적 유기물 증착을 통한 저분자 물질 증착 및 금속증착 시 사용가능

OLED 조명소자 공정장비
영문명: OLED Deposition System
기기분류: OLED 공정장비
장비상태: 정상 ○
기기모델: SUNICEL Plus200L
설치장소: OLED조명연구동 OLED공정실
제조회사: 선익시스템
구입일자: 2011-12-31
장비담당: , 033-452-9881
장비상세정보
장비사양: 1 기판 규격 : 200mm±0.2mmX200mm±0.2mm (T: 0.55~1.1 mm±0.02mm) 2 Clean room 요구 사항 : class 1000 이하, 온도: 21˚C±3˚C, 상대습도: 45%±5% 3 유효 증착 면적 : 170mm x 170mm (일반 증착면적: 175mm x 175mm) 4 적용 제품 : 유기 조명 소자 5 Pass line : 1,450 mm (필수 천장높이: 3,000mm 이상) 6 Alignment 정확도 : Pin alignment: ≤±150μm 7 Tact time : 6 min for evaporation 8 증착 균일도 ≤±3% (정확도 5%, 샘플링 95%), 유기물 증착 ≤±5% (정확도 5%, 샘플링 95%), 메탈 증착 ≤±7%, 스퍼터 공정 9 증착 두께 신뢰도 ≤±5% (기판간 편차), 유기물 증착 ≤±5% (기판간 편차), 메탈 증착
장비활용: - 본 장비는 유기 조명용 소자를 제작하기 위한 박막 증착 PVD 장비로써 여러 종류의 박막을 진공 상태에서 연속적으로 증착 할 수 있도록 구성 된 장비이다. - 장비는 진공 중에서 연속적으로 유기 조명용 유기 및 메탈 박막 증착을 할 수 있도록 여러 개의 모듈로 구성 되어 있으며, 각 구성은 진공 중에서 쉐도우 마스크 와 기판이 정밀 정렬 되어 수평 이송을 하여 각 프로세스 챔버에서 단위 공정을 연속적으로 할 수 있도록 설계 되어있다. - 대면적 Red, Green, Yellow, Blue, White OLED 소자제작 시 사용가능 - 대면적 유기물 증착을 통한 저분자 물질 증착 및 금속증착 시 사용가능