기기명	소자 Test용 진공 System
영문명	OLED Deposition system
분류	OLED 공정장비
장비상태	정상 ○
기기모델
설치장소	OLED조명연구동 OLED공정실
제조회사	인포비온
구입일자	2012-12-11
장비담당	전화 : 033-452-9881
장비상세정보
장비사양	1. # of Organic Cell : 9 (PBN Crucible 4cc) 2. # of Metal Boat : 3 (Carbon BN Boat) 3. Layer Ununiformity : Organic Cell 3% 이내, Metal Boat 5% 이내 4. Pin Alignment : ±200um 이내 5. Base Vacuum Pressure : 5.00E-07 (With in 2hrs) 6. Pump : Rotary Pump & Cryo Pump 7. Max. Temperature : 500℃ (Organic Cell) 8. 메인 Controller, Crucible & Boat, Pump, Servo Motor, 2 Chaber Frame으로 구성
장비활용	1. Red, Green, Yellow, Blue, White OLED 소자제작 시 사용가능 2. 유기물 증착을 통한 저분자 물질 증착 및 금속증착 시 사용가능

소자 Test용 진공 System
영문명: OLED Deposition system
기기분류: OLED 공정장비
장비상태: 정상 ○
기기모델:
설치장소: OLED조명연구동 OLED공정실
제조회사: 인포비온
구입일자: 2012-12-11
장비담당: , 033-452-9881
장비상세정보
장비사양: 1. # of Organic Cell : 9 (PBN Crucible 4cc) 2. # of Metal Boat : 3 (Carbon BN Boat) 3. Layer Ununiformity : Organic Cell 3% 이내, Metal Boat 5% 이내 4. Pin Alignment : ±200um 이내 5. Base Vacuum Pressure : 5.00E-07 (With in 2hrs) 6. Pump : Rotary Pump & Cryo Pump 7. Max. Temperature : 500℃ (Organic Cell) 8. 메인 Controller, Crucible & Boat, Pump, Servo Motor, 2 Chaber Frame으로 구성
장비활용: 1. Red, Green, Yellow, Blue, White OLED 소자제작 시 사용가능 2. 유기물 증착을 통한 저분자 물질 증착 및 금속증착 시 사용가능