기기명	R2R rype 대면적 Web Coater
영문명	R2R-type Web Coater
분류	코팅 공정장비
장비상태	정상 ○
기기모델
설치장소	갈말기업지원동 R2R주공정실
제조회사	디알테크넷(주)
구입일자	2009-07-07
장비담당	전화 : 033-452-9706
장비상세정보
장비사양	- 필름종류 : PET, PES, PEI, PI etc. - 필름두께 : 25~188μm (PET기준) - 필름 폭 : 1,270mm이하 - 유효코팅 폭 : 1,230mm이하 - 필름 롤 직경 : Φ520mm - 코어 외경(풀림부, 감김부) : 152mm(6“) - 롤속도 : 0.5 ~ 6m/min - 냉각수 온도 : 5℃~RT - 최대 진공도 : ≤1×10-6Torr(공정 챔버 내) ≤6×10-6Torr(권취 챔버 내) - 진공배기 시간 : 60분이내 (≤3×10-6Torr)
장비활용	o 1,200mm급 대형 R2R Web Coater를 이용한 고품질 필름 증착(Metal, ITO, Si계-절연체) 공정 o Roll-to-Roll 스퍼터링 시스템에서 고효율 캐소드에 의한 고성능 ITO 박막 제작 o 기업 양산 공정 개발, 기술 개발 지원

R2R rype 대면적 Web Coater
영문명: R2R-type Web Coater
기기분류: 코팅 공정장비
장비상태: 정상 ○
기기모델:
설치장소: 갈말기업지원동 R2R주공정실
제조회사: 디알테크넷(주)
구입일자: 2009-07-07
장비담당: , 033-452-9706
장비상세정보
장비사양: - 필름종류 : PET, PES, PEI, PI etc. - 필름두께 : 25~188μm (PET기준) - 필름 폭 : 1,270mm이하 - 유효코팅 폭 : 1,230mm이하 - 필름 롤 직경 : Φ520mm - 코어 외경(풀림부, 감김부) : 152mm(6“) - 롤속도 : 0.5 ~ 6m/min - 냉각수 온도 : 5℃~RT - 최대 진공도 : ≤1×10-6Torr(공정 챔버 내) ≤6×10-6Torr(권취 챔버 내) - 진공배기 시간 : 60분이내 (≤3×10-6Torr)
장비활용: o 1,200mm급 대형 R2R Web Coater를 이용한 고품질 필름 증착(Metal, ITO, Si계-절연체) 공정 o Roll-to-Roll 스퍼터링 시스템에서 고효율 캐소드에 의한 고성능 ITO 박막 제작 o 기업 양산 공정 개발, 기술 개발 지원